Unser Team hat einen 20 Jahre alten Ladehafen mit moderner Technologie neu gestaltet und wettbewerbsf?hig gemacht. Diese L?sung hat uns in folgenden Bereichen geholfen:
- eine stets saubere Wafer-Umgebung
- kassettentransfer mit Isolationstechnologie (SMIF-Schnittstelle beim Kassettentransfer)
- neukonzeption und Wechsel der Komponentenquellen reduzierten die Kosten um 30%.
- einstellbarer Bodensockel f¨¹r einfache Installation
- modernes Design, das den Semi-Standards entspricht
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